Experimentálny elipsometer LCP-25
Úvod
Manuálny eliptický polarimeter používa metódu extinkcie na meranie hrúbky a indexu lomu filmu a manuálne reguluje odchýlku a uhol odchýlky testovacieho procesu. Elipsometria sa často používa na meranie tenkého dielektrického filmu na pevnom podklade. V metóde merania hrúbky filmu sa dá merať s najtenšou a najvyššou presnosťou.
technické údaje
Popis | technické údaje |
Rozsah merania hrúbky | 1 nm ~ 300 nm |
Rozsah uhla dopadu | 30 ° ~ 90 °, chyba ≤ 0,1 ° |
Križovatkový uhol polarizátora a analyzátora | 0 ° ~ 180 ° |
Uhlová stupnica disku | 2 ° na stupnicu |
Min. Čítanie Verniera | 0,05 ° |
Výška optického stredu | 152 mm |
Priemer pracovnej fázy | Φ 50 mm |
Celkové rozmery | 730x230x290 mm |
Váha | Približne 20 kg |
Zoznam dielov
Popis | Množstvo |
Jednotka elipsometra | 1 |
He-Ne Laser | 1 |
Fotoelektrický zosilňovač | 1 |
Fotobunka | 1 |
Kremičitý film na kremíkovom substráte | 1 |
CD so softvérom na analýzu | 1 |
Návod na použitie | 1 |
Sem napíšte svoju správu a pošlite nám ju